電子凈化車(chē)間的裝修材料必須滿足潔凈、耐磨、防靜電等特殊要求。墻面和天花板通常采用彩鋼板或玻鎂板,這類(lèi)材料具有表面光滑、不易積塵、防火性能好等特點(diǎn)。地面材料則多選用PVC地板或環(huán)氧自流平,其中PVC地板防靜電性能優(yōu)異,適用于對(duì)靜電敏感的電子生產(chǎn)環(huán)境;環(huán)氧自流平則以其無(wú)縫、耐磨、易清潔的特性成為許多車(chē)間的首選。
門(mén)窗設(shè)計(jì)也需特別注意。潔凈門(mén)應(yīng)采用不銹鋼框架搭配鋼化玻璃,確保氣密性和耐用性;觀察窗則需采用雙層玻璃,中間填充干燥空氣,避免結(jié)露。此外,所有接縫處需使用硅膠密封,防止灰塵積聚。
空調(diào)系統(tǒng)是凈化車(chē)間的核心設(shè)備。高效過(guò)濾器(HEPA)或超高效過(guò)濾器(ULPA)是保證空氣潔凈度的關(guān)鍵,其過(guò)濾效率需達(dá)到99.97%(對(duì)0.3μm顆粒)以上。風(fēng)管材料應(yīng)選用鍍鋅鋼板或不銹鋼,內(nèi)壁需光滑無(wú)死角,減少積塵風(fēng)險(xiǎn)。